測量原理

帶硅微機械的熱導傳感原理

測量范圍

H₂ :  0-5%, 0-10%, 0-20%, 0-30%, 0-50%, 0-80%, 0-100%

He :  0-5%, 0-10%, 0-20%, 0-30%, 0-50%, 0-80%, 0-100%

Xe :  0-5%, 0-10%, 0-20%, 0-30%, 0-50%, 0-80%, 0-100%

 (熱導原理可在氮氣,空氣或氬氣為背景氣中測量)

SF6傳感器AGM 22機械尺寸

PCB 160 x 100mm, 高 40mm

重量

較大 800g

管徑

3mm ID

反應時間

6. . . 45s, 與所使用傳感元件, 流量, 管長度, 數字時間量

精度

滿量程 2% FS

穩定性

滿量程 2% FS ( 12個月以上)

重復精度

0.2% （零點時）, 1% （樣氣時）

較低檢測值

<滿量程1% FS

線形誤差

<滿量程2% FS

溫度特性

滿量程 1% FS/10^O Kelvin （零點）, 2% FS/10^O Kelvin （標氣）

溫控加熱器

55^O C ± 5^O C, 選配

壓力特性

0% （零點）, < 2% FS/10 mbar （標氣）(無壓力補償時)

壓力補償

< 0.2% FS/10mbar （標氣）(補償到800. . . 1200 mbar), 選配

狀態/故障控制

雙色LED顯示

狀態/故障輸出

5V HCMOS on 34-Pin 連接器